產(chǎn)品名稱：晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結(jié)爐 氧化鋯真空爐

一．概述

晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結(jié)爐 氧化鋯真空爐，主要以抽完真空后通入保護(hù)氣氛進(jìn)行高溫處理的設(shè)備，以抽真空形式快速把爐內(nèi)空氣置換，以減少爐內(nèi)氧含量，并節(jié)省保護(hù)氣。本爐主要適用于小批量生產(chǎn)，利用人工把產(chǎn)品放入爐腔內(nèi)燒結(jié)之用，具有 使用靈活性高等優(yōu)點。

二、主要參數(shù)

型    號：BXZQ-54-16

爐腔尺寸：700*400*430mm（深X寬X高）

使用氣氛：氮氣、氬氣（正壓＜0.04Mpa下使用）

使用方法：預(yù)抽真空后通入氣體保護(hù)燒結(jié)

額定功率：≈54KW（實際功率由儀表根據(jù)熱損耗自動控制調(diào)節(jié)）

電    壓：380V

額定溫度：1600℃

控制方式：可控硅移相調(diào)壓

報警保護(hù)：超溫、斷偶報警保護(hù)

溫控儀表：智能PID調(diào)節(jié)，30段可編程式控溫曲線（全自動升、降、保溫）

分度號：采用B分度鉑銠熱電偶

真空泵：旋片式真空泵

加熱溫區(qū)：1個溫度區(qū)域單獨控制

加熱元件：硅鉬棒

注：晶圓退火真空爐 真空氣氛燒結(jié)爐 氧化鋯真空爐等其他型號規(guī)格可以根據(jù)用戶實際需求設(shè)計，價格僅參考，歡迎咨詢詳談：0510-87195028 18888033558 吳經(jīng)理。