電爐真空系統(tǒng)如何操作 低真空電阻爐的真空系統(tǒng)，只有機(jī)械泵或由機(jī)械泵與羅茨泵組成的機(jī)組，操作相對(duì)比較簡(jiǎn)單。真空電阻爐從大氣狀態(tài)抽到工作真空度，真空系統(tǒng)的操作主要分四步： 1、 羅茨泵啟動(dòng)。打開前級(jí)閥，關(guān)閉主閥和預(yù)抽閥，用按鈕啟動(dòng)機(jī)械泵，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管2測(cè)量的真空度高于羅茨泵入口真空度時(shí)，比如小于2kPa，啟動(dòng)羅茨泵。 2、 預(yù)熱擴(kuò)散泵。主閥和預(yù)抽閥仍處于關(guān)閉狀態(tài)，前級(jí)泵機(jī)組對(duì)擴(kuò)散泵抽真空，當(dāng)?shù)驼婵找?guī)管2測(cè)量擴(kuò)散泵前級(jí)真空度高于規(guī)定值時(shí)，比如小于7Pa,啟動(dòng)擴(kuò)散泵加熱器。 3、 預(yù)抽爐內(nèi)真空。先關(guān)前級(jí)閥，并停止羅茨泵，稍后打開預(yù)抽閥對(duì)爐內(nèi)抽真空。爐內(nèi)真空度抽到高于羅茨泵入口真空度時(shí)，再啟動(dòng)羅茨泵。前級(jí)泵機(jī)組對(duì)爐內(nèi)抽氣，使之達(dá)到預(yù)抽真空度。 4、 抽高真空。爐內(nèi)真空度達(dá)到或高于規(guī)定值，且擴(kuò)散泵加熱時(shí)間到，先關(guān)預(yù)抽閥，然后開高真空閥，對(duì)爐內(nèi)抽高真空，直到高真空規(guī)管測(cè)得的爐內(nèi)真空度達(dá)到或高于工作真空度，才進(jìn)行下一步操作。 真空系統(tǒng)的關(guān)閉步驟相對(duì)比較簡(jiǎn)單，當(dāng)爐子溫度減低到可關(guān)真空系統(tǒng)的要求時(shí)，關(guān)閉主閥，接著關(guān)閉擴(kuò)散泵加熱器，但前級(jí)閥不能關(guān)閉，前級(jí)泵機(jī)組仍然工作，直到擴(kuò)散泵加熱器冷卻時(shí)間到，才依次關(guān)閉前級(jí)閥和前級(jí)泵機(jī)組。